任老上来就有些急不可耐。
“当然可以，请。”
许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。
极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。
“性能怎么样？”
任老问了一句。
“根据我们反复实验，其最终实e值为45%，输出功率为220。”
一般衡量euv光源性能主要有两个指标：转换效率（近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比；以及输出功率，即在中间会聚点（if）处测得的功率。
e值45%？！你确定？”
一旁的张云惊疑了一声。
他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。
要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。
因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。
另外，极紫外光也能被透镜吸收。
因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。
而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。
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据悉，目前al公司的极紫外光刻机的输出功率为250，要达到这样的输出功率，需要0.125万千瓦的电力输入才能维持，相当于一天要消耗3三万度电.
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